Produktöversikt
Wafer Guide Machine (Automatic Switching Machine) är ett specialverktyg med hög-precision - som är gjord speciellt för 6-tums waferhantering i halvledar-IC-produktionslinjer. Den låter wafers överföras sömlöst mellan waferlådor och även mellan waferlådor och båtar. Det är en nyckellänk för att effektivisera halvledartillverkningsprocessen.
Ansökningar
Wafer Guide Machine gjord för halvledar-IC-produktionslinjer. Den här maskinen handlar om att överföra 6-tums wafers - mellan waferlådor och mellan lådor och båtar också. Den får wafers effektivt att flytta, inga skador alls, vilket gör att tillverkningsarbetsflödena löper smidigt.
Fördelar
Under operationen ställs hastighet, tid och vridmoment in i enlighet med skivans material, tjocklek och maximal fragmentbärande kraft.
Motor: mikro-DC-motor, hög-motorstyrenhet med hög precision.
Synkron bältestransmission: synkron bältesmotviktstransmission, i händelse av motståndsglidstopprörelse, det maximala försvarskortet, skräp.
Säkerhetsövervakning: positioneringsdetektering av varje station, med, ingen bitdetektering, detektering av körposition.
Programvarufunktioner: manuell drift, urvalsprocess, parameterinställning, varning och formel kan ändras från driftgränssnittet.
Parametrar
|
Grundläggande information |
Huvudfunktion: Används för 6-tums waferstyrning |
|
Utrustningsspecifikation: 25 st / 50 st |
|
|
Storleksreferens: Ca. B650mm × D550mm × H790mm (beroende på slutlig design) |
|
|
Huvudstrukturens egenskaper |
Huvudkroppens storlek: B650mm × D550mm × H790mm (beroende på slutlig design) |
|
Utseende Material: Huvudkroppen är gjord av W-PP 10t plattor genom monteringssvetsning |
|
|
Utrustningsram: SUS 90×40×2T rammontering, med solid struktur |
|
|
Rörsystem: Modulär design med en kammare |
|
|
Statisk eliminering: Antagande av vertikal nedåtriktad fläktkåpa statisk elimineringsmetod |
FAQ
Vad är huvudsyftet med denna Wafer Guide Machine?
Den är specialiserad för 6-tums waferstyrning, vilket möjliggör sömlös överföring mellan waferlådor och mellan waferlådor och båtar i produktionslinjer för integrerade halvledarkretsar.
Vilka wafertyper och material är den kompatibel med?
Den stöder 6-tums wafers av vanliga material som kisel, galliumarsenid och kiselkarbid, inklusive standard och tjocka/tunna wafers (justerbara parametrar för att matcha olika tjocklekar).
Vilka är de viktigaste specifikationerna (storlek, kapacitet, etc.)?
Storlek (referens): B650mm × D550mm × H790mm (beroende på slutlig design); Kapacitetsalternativ: 25 PCS / 50 PCS per batch.
Kan den integreras med befintliga halvledarproduktionslinjer?
Ja. Dess modulära rörsystem och kompatibla dimensioner möjliggör enkel integrering med- tredje parts utrustning (t.ex. wafer loaders, rengöringsmaskiner) utan större linjeändringar.
Hur förhindrar det skador på skivan under överföring?
Den använder synkron bältes motviktsöverföring (stoppar omedelbart när det stöter på motstånd) och justerbar hastighet/vridmoment (baserat på wafermaterial/tjocklek) för att minimera fragmentering och repor.
Har den statisk eliminering och kontamineringskontrollfunktioner?
Ja. Den är utrustad med ett vertikalt nedåtriktat fläktkåpa för att eliminera statisk elektricitet, och W-PP-kroppen är korrosionsbeständig- och lätt att rengöra och uppfyller kraven på halvledarrenrum.
Vilka säkerhetsövervakningsfunktioner har den?
Det inkluderar positioneringsdetektering av båtlådor, wafernärvaro/frånvarodetektering och löppositionsdetektering för att undvika felinställning eller saknade wafers.
Är operationen användarvänlig-? Kan parametrar justeras?
Ja. Den har ett mänskligt-maskingränssnitt som stöder manuell drift, processval, parameterinställning och formeländring-ingen professionell programmeringskunskap krävs.
Kan maskinen anpassas (t.ex. storlek, kapacitet)?
Den nuvarande standardmodellen är för 6-tums wafers (25/50 PCS kapacitet). Anpassning för storlek, kapacitet eller speciell materialkompatibilitet är tillgänglig; vänligen kontakta oss för specifika krav.
Vilka efter-tjänster tillhandahålls?
Vi erbjuder installationsvägledning, driftutbildning och teknisk support. För kvalitetsfrågor tillhandahåller vi snabb felsökning och reservdelsförsörjning.
Finns det någon certifiering för maskinen?
Maskinen uppfyller standarder för halvledarindustrins utrustning. Om du behöver specifika certifieringar (t.ex. CE, ISO), vänligen informera oss i förväg för skräddarsydda arrangemang.
Populära Taggar: wafer guide maskin, Kina wafer guide maskin tillverkare, leverantörer
