Produktöversikt
Batch Wafer Cleaner-inklusive 12-”-modellerna och 8--tums BC-modellerna- byggdes för precision i halvledartillverkning och bearbetning av kiselwafer, specialiserad på våtetsning och rengöring. Vad skiljer det åt? Formatflexibilitet som fungerar för både 12-tums och 8-tums wafers, plus konfigurerbara hanteringsalternativ (kassettlösa eller kassetttyp) för att passa nästan alla produktionsinställningar – från stora volymer på 300 mm till äldre 200 mm-linjer.
Under huven är den fullspäckad med funktioner som är viktiga för konsekventa resultat: avancerad kemikaliehantering (med CCSS/LCSS-stöd), automatiserad processkontroll för dosering, temperatur och flödeshastighet och SECS/GEM-kommunikation från industri-standard. Men vi stannade inte vid prestanda-säkerhet och effektivitet var också högsta prioritet. Du får inbyggt-läckagedetektering och överhettningsskydd för sinnesfrid, plus kapacitet för kemikalieåtervinning och avfallsklassificering för att hålla verksamheten igång smidigt. Oavsett om du etsar, rengör eller sköljer, ger detta system upprepningsbara resultat som du kan lita på-utan gissningar.
Fördelar
Format & hanteringsflexibilitet
- 12-tums modell:Kassett-mindre design (minskar kontamineringsrisker för hög-renhet 300 mm wafers).
- 8-tums modell:Dubbel kassettlös/kassett-hantering + SMIF POD/FOUP-kompatibilitet (anpassar sig till äldre/moderna 200 mm arbetsflöden).
Precision Process Control
- Standardiserade funktioner:Automatisk dosering, bleed&feed och real-reglering av temperatur, koncentration, flödeshastighet och tryck (säkerställer enhetlighet från batch-till-batch).
- Avancerad torkning:Marangoni/LPD-torkning (förhindrar vattenfläckar/rester på känsliga waferytor).
Kostnads- och operativ effektivitet
BC3100-exklusiv kemikalieåtervinning (minskar kemikalieförbrukning och avfall).
Batchöverhettningsskydd + läckagesensorer (minimerar stilleståndstid och materialförlust).
Fabriksintegration och efterlevnad
Fullständigt stöd för SECS/GEM-protokoll (möjliggör MES-anslutning för smarta fab-arbetsflöden).
- 8-tums modell:Separat dränering (förenklar klassificering av farligt avfall och efterlevnad av föreskrifter).
Ansökningar
IC-tillverkningsprocesser
- RCA-rengöring
- PR våt remsa
- Dielektriskt lager våt ets
- Metallskikt våt ets
Silicon Wafer Processing
- Alkalisk etsning
- Efter-poleringsrengöring
- För-rengöring
- Slutsköljning
Modell-Specifika användningsfall
- 12-tumsmodell: Tillverkad för hög-produktion på 300 mm. Tänk stor logik och minneschip som körs i full fart.
- 8-tumsmodell: Idealisk för 200 mm waferlinjer. Perfekt för fordonshalvledare och äldre mikroelektronik-de som driver viktiga system.
Parametrar
|
Parameter |
12-tums modell |
8-tums BC-modell |
|
Wafer storlek |
12 tum (300 mm) |
8-tum (200 mm) |
|
Verktygstyp |
Kassett-mindre |
Kassettlös eller kassetttyp |
|
Wafer Kapacitet/Pitch |
N/A |
50 wafers (25 wafers/kassett x2)/ 10 mm delning |
|
Operatörer som stöds |
N/A |
SMIF POD/FOUP |
|
Stöd för kemikalieförsörjning |
CCSS, LCSS |
CCSS, LCSS |
|
Torkningsteknik |
Marangoni torr eller LPD |
Marangoni torr, LPD torr |
|
Kemikaliehantering |
Automatisk dosering, avtappning&feed; |
Automatisk dosering, avtappning&feed; |
|
Säkerhetsfunktioner |
Badets överhettningsskydd; läckagesensorer (enhets-nivå) |
Badets överhettningsskydd; läckagedetektering; separat |
|
Kemisk återvinning |
Stöds |
Ej specificerat |
|
Kommunikationsprotokoll |
Fullständigt SECS/GEM-stöd |
Fullständigt SECS/GEM-stöd |
|
Kassettöverföring |
Ej specificerat |
Stöds |
FAQ
F: Vilka waferstorlekar stöder BC-serien?
S: BC3100 hanterar 12-tums (300 mm) wafers; 8-tums BC-modellen stöder 8-tums (200 mm) wafers.
F: Kan BC-serien fungera med kassetter?
S: BC3100 använder en kassett-mindre design; 8--tumsmodellen stöder både kassettlös och kassettliknande hantering.
F: Vilka nyckelprocesser utför den?
S: Den hanterar RCA-rengöring, PR-remsor, dielektrisk/metalletsning och efter-polering av halvledare/wafers.
F: Stöder det fabriksintegration?
S: Ja-båda modellerna stöder fullt ut SECS/GEM-kommunikationsprotokollet för MES-anslutning.
F: Vilka säkerhetsfunktioner har den?
S: Standardfunktioner inkluderar överhettningsskydd och läckagedetektering; 8-tumsmodellen lägger till separat avloppsdränering.
Populära Taggar: batch wafer cleaner, Kina batch wafer cleaner tillverkare, leverantörer
