Vår RTP-utrustning för hög-temperaturoxidation är ett centralt termiskt verktyg för storskalig-halvledarproduktion-. Dess huvudsakliga uppgift är att skapa rena, täta SiO₂-filmer på kiselsubstrat, perfekt för att göra CMOS-, IGBT- och MEMS-enheter. Det används i stor utsträckning inom halvledartillverkning, ny energielektronik,-avancerade elektroniska komponenter och till och med universitets-/forskningslabbinställningar för halvledar-FoU och pilotproduktion.
Hur man väljer rätt modell
Att välja rätt beror på dina produktionsbehov och processer-här är en enkel uppdelning:
1. 12-tumsmodell
Om du gillar avancerad massproduktion av-wafers i stora storlekar är det här. Den kan hantera mer än eller lika med 125 wafers per båt, så den är perfekt för hög-volym, stor-tillverkning av kärnhalvledarenheter. Dessutom erbjuder den exakt temperaturkontroll (±0,5 grader) och en konstant temperaturzon på större än eller lika med 850 mm, vilket säkerställer konsekvent filmtjocklek (WIW/WTW/RTR mindre än eller lika med ±2%) för varje batch.
2. 8-tumsmodell
Det här handlar om flexibilitet. Den fungerar med flera oxidationsmetoder-torrt syre (Si) och vått syre (snabb avdunstning/vattenbad/HO-antändning)-så att den passar de flesta vanliga massproduktionsbehov. Temperaturmässigt-spänner den från 600-1150 grader med mindre än eller lika med ±0,5 graders kontrollnoggrannhet, och dess konstanta temperaturzon (300-860 mm) ger pålitlig filmlikformighet (WIW/WTW Mindre än eller lika med ±2%). Den är skräddarsydd för 8-tums massproduktion, så effektiviteten förblir i nivå med storskaliga krav.
Vem den är till och var den passar
Stora halvledartillverkare: 12-tumsmodellen är din favorit för att sätta igång CMOS-chips, IGBT-kraftenheter och andra kärnkomponenter i stora volymer.
Mainstream elektronik/nya energiföretag: 8-tumsmodellen lyser här-oavsett om du gör bilelektronik, 5G-kommunikationskärndelar, konsumentelektronikchips eller krafthalvledare, dess multiprocesskompatibilitet håller produktionen smidig.
Universitet och forskningsinstitutioner: 8--tumsmodellen är perfekt för att testa nya halvledarmaterial eller utveckla banbrytande enhetsprototyper. Den anpassar sig lätt till olika FoU-inställningar, vilket är ett stort plus för labbarbete.
En snabb notering om kvalitet: Vi använder professionella material och smart strukturell design för kammaren, så filmens renhet garanteras-inga oönskade föroreningar förstör saker och ting. Och båda modellerna utmärker sig i stabila processer, tack vare exakt temperaturkontroll och jämn filmkvalitet.
Fortfarande osäker på vilken som passar bäst? Kontakta oss så hjälper vi dig att hitta rätt utrustning för ditt arbetsflöde!
