Trött på att skrymmande utrustning tar över ditt labb eller litet produktionsutrymme? RTP-100 RTP-systemet för stationära datorer är byggt för små wafers (max 6 tum)-perfekt för team som behöver precision utan att offra kvadratmeter. Den är enkel, pålitlig och skräddarsydd för forskare och små serietillverkares vardagliga behov.
Vad vi älskar med det
Passar som handen i handsken: Vid 910 mm×860 mm×695 mm (B×D×H) glider den in i trånga hörn eller trånga arbetsbänkar. Du behöver inte ordna om hela din installation bara för att lägga till termisk bearbetningskapacitet.
Temperaturkontroll du kan lita på: Två sätt att reglera värme-termoelement för rumstemperatur upp till 800 grader och infraröd pyrometer för 500 grader till 1200 grader. Värmer wafers upp till 150 grader /s (mycket snabbare än med SiC- eller grafitbärare, som täcker 20-30 grader /s). Och konsistensen? Mindre än eller lika med ±3 grader enhetligt under 600 grader, Mindre än eller lika med ±0,5 % över det, plus ±1 grad repeterbarhet - så att dina resultat inte kommer att variera batch till batch.
Ingen-krångel operation: Manuell lastning/lossning gör det enkelt (bra om du föredrar handkontroll), medan en summer och varningslampor låter dig veta om något är avstängt. PC-kontroll gör det enkelt att justera parametrar-och ingen komplicerad utbildning krävs.
Täcker grunderna (och lite till): Klarar vakuum ner till 30 mTorr, håller syre under 3 ppm och stöder upp till 4 MFC-kanaler. Oavsett om du gör jonimplantationsglödgning, oxidtillväxt eller värmebehandlingar av små prover, kontrollerar den alla rutor för grundläggande snabb termisk bearbetning.
Vem är det för
Det här är inte för stor-fabriker-det här är för laboratorietekniker som kör dagliga experiment, den lilla tillverkaren som tar fram anpassade komponenter eller forskarteamet som testar nya material. Om du arbetar med små wafers och behöver konsekventa resultat utan krångel med utrustning i industriella-storlekar, är den här för dig.
Snabbtips för att använda det rätt
Växla temperaturlägen: Använd termoelementet för temperaturer upp till 800 grader och vänd till infrarött i PC-mjukvaran för allt varmare. Systemet kalibrerar sig automatiskt-fin touch.
Laddar wafers: Hoppa inte över de rena handskarna! Fingeravtryck eller damm förstör resultat. Hantera försiktigt, inget att tappa och se till att den är centrerad på bäraren-enkla steg som sparar huvudvärk senare.
Vanliga korrigeringar: Om summern slocknar vid start, kontrollera först om hålrumsdörren är ordentligt låst (det har vi alla glömt!). Om uppvärmningshastigheten inte når 150 grader /s, se till att du inte använder en bärare-som saktar ner. Och om dina wafers oxiderar oväntat, dubbel-kontrollera vakuumet (bör vara mindre än eller lika med 30 mTorr) och syrenivåerna (behåll det<3 ppm).
Underhåll som är viktigt: Torka av kvartskammaren med alkohol varje vecka-smuts byggs upp snabbare än du tror. Kontrollera lamporna var 3:e månad (byt efter 1000 timmar) och tätningsringarna varje månad för sprickor. Åh, och låt inte vattenkylningen gå över 70 grader -det är ett snabbt sätt att skada delar.
En gedigen arbetshäst
Certifierad enligt SEMI S2-standarder, den här saken är byggd för att hålla. Den har inga flashiga extrafunktioner som du aldrig kommer att använda, men den klarar det väsentliga: precision, kompakthet och användarvänlighet. För labb och små team som behöver en termisk bearbetningslösning som fungerar, dag ut och dag in, är RTP-100 ingen-brainer. Det är inte perfekt (ingenting är!), men det är pålitligt - och det är det som räknas när du försöker hålla experiment eller produktion på rätt spår.
