Produktöversikt
Denna enkla wafer-rengörare är byggd speciellt för halvledarwafer-arbete-och täcker allt från 8-tums till 12-tums format, inga undantag. Varje modell kommer med exakta processkontroller (tänk uppvärmning, koncentration, flödeshastighet) och SECS/GEM-kommunikation, så att integrera den i smarta fabs är en bris. Ännu bättre, det är fullt konfigurerbart för att matcha vad din applikation behöver.
Så här delas serien:
SWC 100:
Designad med 12-tums wafers i åtanke. Den har 8 kammare och fungerar med 4 FOUP:er och hanterar alla vanliga våta processer du behöver från dag till dag.
SWC 200:
Ett annat 12-tums fokuserat alternativ, men med en boost-12 kammare istället för 8, plus 4 FOUP-kompatibilitet. Kärnprocesserna? Exakt samma som SC3100, så ingen ny inlärningskurva.
SEC Plus:
Den flexibla i gänget. Det fungerar med både 8- och 12-tums wafers, och du kan anpassa kammarantalet från 2 till 8. Perfekt för kraftenheter och kiselbaserade processinställningar.
Fördelar
◆ Format- och konfigurationsflexibilitet
SWC100 / SWC 200: Fast 12-tumsstöd (8/12 kammare) för standardproduktion i hög volym.
SEC Plus: 8–12-tums kompatibilitet + anpassningsbara kamrar, anpassning till arbetsflöden i blandade format/kraftenheter.
◆ Exakt processkontroll
Alla modeller: Värme/koncentration/flöde/tryckkontroll, plus valfria kemi (DHF, SC1, etc.) och 3ea munstycken för enhetlig bearbetning.
SEC Plus: Tillsatt syra/bas/organisk avgasseparering + kemisk återvinning, vilket ökar säkerheten och kostnadseffektiviteten.
◆ Bred kompatibilitet
SWC100 / SWC 200: 4FOUP bärarstöd för 12-tums fab integration.
SEC Plus: 2–4 Open Cassette/SMIF/FOUP-kompatibilitet, passande äldre och moderna produktionslinjer.
Ansökningar
SWC100 / SWC 200 (12-tums wafers)
Kärnprocesser: RCA-rengöring, GATE-rengöring, oxidetsning/borttagning, fotoresistborttagning.
Specifika användningsområden: avlägsnande av partiklar/metall/organisk kontaminering, före/efter-rengöring, rengöring av Al/Cu-anslutningar (för logik-/minneschips).
SEC Plus (8–12-tums wafers)
Målenheter: Kraftenheter av kiselkarbid/kisel, kisel-baserade processenheter.
Specifika processer: Förtunning/rengöring av baksidan, rengöring av tunna skivor, hög-temperatur H3PO4-etsning, plus standardborttagning av föroreningar och rengöring av sammankopplingar.
Parametrar
|
Specifikation |
SWC100 |
SWC 200 |
SEC Plus |
|
Wafer storlek |
12 tum |
12 tum |
8-12 tum |
|
Kammare |
8 kamrar |
12 kamrar |
2-8 kammare (anpassningsbar) |
|
Transportörskompatibilitet |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 Öppna kassett/SMIF/FOUP |
|
Kemi som stöds |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
Etchant,SC1+Megasonic,DHF,DICO2,N2 |
|
Processkontrollfunktioner |
Värme/koncentration/flöde/tryckreglering |
Värme/koncentration/flöde/tryckreglering |
Värme/koncentration/flöde/tryckreglering |
|
Stöd för kemikalieförsörjning |
N/A |
N/A |
CCSS, LCSS |
|
Avgashantering |
N/A |
N/A |
Separat avgas (syra/bas/organisk) |
|
Ytterligare funktioner |
N/A |
N/A |
Kemisk återvinning; skydd mot överhettning av bad; läckage |
|
Kommunikationsprotokoll |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
FAQ
Vilka waferstorlekar stöder dessa modeller?
SWC100 / SWC 200 stöder endast 12-tums wafers; SEC Plus är flexibel för 8–12-tums wafers.
Vad är skillnaden mellan SWC100 och SWC 200?
De delar samma 12-tums processkapacitet – SC3100 har 8 kammare, medan SWC 200 expanderar till 12 kammare för högre genomströmning.
Vilken modell är lämplig för bearbetning av kraftenheter?
SEC Plus är optimerad för kiselkarbid-/kiselkraftenheter (stöder förtunning av baksidan, hög-temp H3PO4-etsning).
Kan dessa system ansluta till vår fabriks MES?
Ja-alla modeller stöder fullt ut SECS/GEM-kommunikationsprotokollet för fabriksintegration.
Har SE-serien stöd för kemiska kostnadsbesparande-funktioner?
Ja, det inkluderar kemisk återvinningsfunktion (återvinner processkemikalier) och klassificerad avfallsdränering.
Vilka bärare fungerar dessa system med?
SWC100 / SWC 200 använder 4FOUP; SEC Plus stöder 2–4 Open Cassette/SMIF/FOUP (anpassar sig till äldre/moderna linjer).
Populära Taggar: single wafer cleaner, Kina single wafer cleaner tillverkare, leverantörer
